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激光式位移传感器

常用的高精度激光式位移传感器主要是采用激光三角测量法原理制成的，激光发射器将激光射向被测物体表面，位移传感器内部的线性相机接受经物体反射回来的激光，通过内部数字信号处理器计算出传感器和被测物体之间的距离。测量范围为0~2m；测量精度达到0.2μm/m；线性度达到0.1%，优点是非接触、结构简单、抗干扰，适应性强、速度快等；缺点是测量成本高、对环境要求高等。