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光栅式位移传感器

光栅式位移传感器是利用计量光栅的莫尔条纹现象进行位移测量的，主要由光源、标尺光栅、指示光栅和光电器件等部件组成，光电器件接收到莫尔条纹光强信号经电路处理后可得到两光栅的相对位移。测量范围为0.001~10m；测量精度达到0.2~1μm/m；优点是测量精度高、量程大、响应快、输出为数字量、易于实现数字化测量和自动控制、具有较高的抗干扰能力、可实现动态测量等；缺点是对环境要求高、成本高、当自身膨胀系数与被测量物体不一致时，易造成测量误差等。